ETH Zürich sorgt für saubere Wafer-Produktion

Bei vielen Prozessen in der Produktion von integrierten Halbleiterschaltungen werden runde Wafer, die in der Regel einen Durchmesser von 30 Zentimeter haben, auf einem Rotationsteller um die eigene Achse gedreht. Die Halbleiterindustrie kämpft zurzeit allerdings mit hohen Ausschussraten aufgrund von Verschmutzungen der Wafer. Magnetgelagerte Rotationsteller, die keine Antriebswelle benötigen, könnten diesen Ausschuss drastisch senken, erklärt Thomas Nussbaumer, ehemaliger Doktorand am Institut für Leistungselektronik der ETH Zürich und nun Forschungsleiter bei Levitronix.

Ausserdem können damit die gewünschten Prozessbedingungen wie Temperatur, Druck oder Feuchtigkeit lokal eingestellt werden. Wafer können sogar gleichzeitig auf der Ober- und Unterseite bearbeitet werden, was die Produktivität deutlich erhöht, so Nussbaumer.

Momentan wird ein funktionsfähiger Prototyp des magnetgelagerten Rotationstellers von einer Halbleiter-Produzentin getestet. Zudem wird untersucht, ob die Technik auch sinnvoll für Prozesse in der Pharmaindustrie oder in der Biotechnologie ist.